TEM 투과 전자 현미경 자료
TEM투과 전자 현미경
CONTENTS
TEM이란 무엇인가
TEM의 원리
TEM의 시편제작
TEM의 적용
현미경의 비교
1.TEM이란?
투과전자현미경(TEM:transmission electron microcope)은 생물, 의학, 재료 등 거의 모든 자연과학과 기술의 연구에서 필수적인 도구로 활용되고 있는데,
이는 전자현미경의 해상력이 뛰어나서 미시적인 내부구조를 고배율로 확대하여 직접 관찰할 수 있고 마이크론 이하의 국부적인 영역의 화학조성까지도 정확하게 분석할 수 있기 때문이다.
물질의 미세조직과 관련하여 고분해능(High Resolution) 투과전자현미경(HRTEM)으로는 원자크기 정도의 미세조직과 약 1,000nm3 이하의 작은 부피를 구성하고 있는 미세조직 구성성분에 대하여 구조와 화학성분을 정량화할 수 있다.
2.TEM의 원리
e-
e-
e-
backscattered e-
elemental contrast
secondary e-
surface topography
Primary or unscattered e-
projected sample image
transmission electron microscopy
Transmission Electron Microscopy
Au/SiO2
Transmission Electron Microscopy
Au
3.TEM Sampling
<요구 조건>
1. 대표성
2. 얇은 두께
3. 깨끗한 표면
4. 물리화학적 안정성
5. 평탄성
Particulate materials (powders, nanoparticles, nanowires)
Bulk material
How to determine the thickness of Si(110) crystal by transparency colors?
TEM의 적용사례
ITO (Indium Tin Oxide) Nanopowder
ITO Nanopowder
Production method
Gasification method
Appearance
Light green powder
Content of In2O3:SnO2
9:1(wt%) (Customized proportion available)
Purity
> 99.99% (4N)
Grain size (nm)
<100nm
Specific surface area (m2/g)
10-25 m2/g
적용 사례 : 투명 전도성 코팅
[출처] ITO (Indium Tin Oxide) Nanopowder
적용 사례 : 투명 전도성 코팅
Transmission Electron Microscopy
Primary or unscattered electrons
diamond
gold
TEM
http://em-outreach.sdsc.edu/web-course
Transmission Electr…(생략)
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